06 水・衛生 E 精密機器洗浄

※区分：◎普及 ○実用化 △開発中

製品/サービス	区分	主な事例/選定理由	エビデンスの有無とその内容	添付資料	会員名
ノズル	〇	半導体洗浄におけるファインバブル利用（洗浄性向上及び節水）	既存洗浄との比較データ	無	株式会社サイエンス
洗浄装置	◎	部品洗浄	溶剤削減、水質浄化（油水分離）	有	日東精工株式会社